Alarm系統通過對設備的報警信息進行記錄分析，并根據設定的Alarm頻率觸發規則，Repeat Alarm觸發Hold Equipment、Hold Lot及操作，同時可通過E-mail/短信等方式及時提醒。Alarm系統還可以監控設備報警數據，做到提前預警、及時檢修，提高設備利用率；
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